english
致力于成为中国高端光源核心供应商细分领域的领跑者
准分子激光器
蓝光半导体激光器
紫外及深紫外固体激光器
科学仪器光源
准分子激光是大功率输出的深紫外（DUV）波段激光光源，该系列激光器采用全固态脉冲激励技术，无需更换闸流管，具有波长短、高重复频率、光子能量高、能量稳定性好、脉冲宽度窄、峰值功率高等优势。可用于FBG刻写、精细加工、精细打标、光谱分析。
具体参数
参数值
介质气体
ArF
KrF
XeC1
波长
193nm
248nm
308nm
最大单脉冲能量
7mJ
12mJ
8mJ
平均功率
2W
1.4W
最大重复频率
200Hz
脉冲宽度
~15(FWHM,ns)
能量稳定性
2(sigma.%)
光斑尺寸
6x3mm(V*H)
发散角
~2*1mrad(V*H)
产品尺寸
600*350*600mm(L*W*H)
重量
50kg
电源要求
220V,50Hz,3A
冷却方式
风冷
交互方式
控制系统:RS232(液晶屏/PC)
