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准分子激光器

准分子激光是大功率输出的深紫外（DUV）波段激光光源，该系列激光器采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命，脉冲能量最高到700mJ，内置能量反馈系统，能量稳定性好，可用于PLD、精细加工、材料表面处理、激光退火。

准分子激光是大功率输出的深紫外（DUV）波段激光光源，该系列激光器采用磁助器激励回路设计，延长闸流管寿命，脉冲能量最高到700mJ，内置能量反馈系统，能量稳定性好，可用于PLD、精细加工、材料表面处理、激光退火。